EUV技術解明のチャンス！最新のメタルレジスト講座開講

株式会社AndTechが主催するEUVレジスト・メタルレジスト講座

1月27日（火）にオンラインで開催予定の「EUVレジスト・メタルレジスト材料の設計指針・物性評価とEUV露光反応機構」セミナーについてご紹介します。この講座は、株式会社AndTechが主催し、最新のEUVレジストとメタルレジストに関する深い理解を得るための貴重な機会です。

1. 重要性と背景

最近、EUV（極端紫外線）技術の進展が半導体業界に大きな変革をもたらしています。特に、メタルレジスト材料の開発が進む中、これに関する知識はますます重要となっています。EUV露光技術を使用することで、微細加工の精度が向上し、それに伴い、デバイスの性能も向上します。この講座では、メタルレジストが注目される理由について詳しく探ります。

2. 講座内容

第1部 EUVレジスト・メタルレジストの評価技術

最初の講義では、リソテックジャパンの関口淳先生が、EUVレジストとメタルレジストの評価技術について解説します。特に、メタルレジストの重要性とその評価方法に焦点を当てます。

第2部 EUVレジストの設計指針とプロセス技術

次に、Eリソリサーチの遠藤政孝氏が、EUVレジストの設計指針、要求特性、最新の市場動向についてお話しします。特に、EUVリソグラフィー技術の発展に対応したメタルレジストの進展が解説されます。

第3部メタルレジストの基礎物性

最後に、物質・材料研究機構の山下良之氏が、EUV露光によるメタルレジストの反応機構について詳しく説明します。この講義では、メタルレジストが2nmスケールの次世代半導体製造においてどのように役立つかが紹介される予定です。

3. 受講方法と費用

本セミナーはZoomを使用したウェブ配信形式で行われます。日程は2026年1月27日、時間は10:30から15:25まで。受講費用は55,000円（税込）で、電子資料が配布される予定です。参加希望者は、AndTechの公式サイトから申し込みが可能です。

4. 会社情報

株式会社AndTechは、化学、素材、エレクトロニクス、医療機器など多岐にわたる分野で研究開発を支援している企業です。高度な専門知識を持つ講師陣を揃え、セミナーや技術講習会を通じて、最新技術の理解を深め、ビジネスの発展に寄与しています。

このように、講座ではEUVレジストとメタルレジストの知識を深めるだけでなく、それに関する最新技術の動向も学ぶことができます。従来の技術への理解を深め、新たなビジネスチャンスをつかむためにも、ぜひこの機会を活用してください。