次世代半導体革命を加速する新型レーザー加工機 Femto-pro-HGS

超高精密加工の新時代

最近、株式会社光響が新しく発表した「ホログラフィックフェムト秒レーザー加工機 Femto-pro-HGS」が注目を集めています。この新型機は、従来のFemto-proを基にした拡張モデルであり、超高精度な加工を実現するためにホログラフィック光学技術を搭載しています。これにより、従来の加工技術の限界を超え、次世代の半導体デバイスや量子コンピュータの開発に革新をもたらすことが期待されています。

高精度加工のための機能

Femto-pro-HGSは、高精度な集光技術、同時多点加工、透明材料の三次元加工など、多角的な機能を備えています。特に収差補正による高精度集光が可能で、均等なピッチでの加工も実現します。これにより、複雑な形状や多点配置のビーム形状を柔軟に設計・制御でき、非常に高精度な加工が可能です。

この加工機では、光の干渉を利用したホログラフィ技術を採用しており、光エネルギーを効率的に利用してビームを成形します。この手法により、高速かつ高精度な加工が実現され、量子回路や半導体デバイスの試作が加速します。

多彩なビーム形状の生成

Femto-pro-HGSに搭載されている計算機合成ホログラムソフト「HologramMaker」は、ユーザーが簡単にビーム形状を設計・制御できる点が大きな強みです。複雑な形状を加工する際でも、直感的に操作できるため、ユーザーは必要な機能を迅速に実現できます。

加えて、ガラス内部の改質や微細なアブレーション手法なども、柔軟に対応できるため、さまざまな技術革新が可能です。この新しい技術は、半導体や量子コンピュータなどの先端技術分野において、需要が高まっています。

受託加工サービスの提供

光響では、このFemto-pro-HGSを使用した受託加工や加工トライアルサービスも行っています。特にSiC、GaN、ダイヤモンドといった次世代のパワー半導体材料に対する加工が可能です。お客様のニーズに合わせて、加工トライアルから生産ライン導入まで、一貫してサポートを提供しています。このサービスにより、多くの国内大手半導体メーカーや電子部品メーカーからの依頼を受け、良好な評価を得ています。