ニコンの新半導体露光装置に巴川のヒーター部品が採用決定

ニコンと巴川の革新的提携

株式会社巴川コーポレーション（東京・中央区）が開発した通気性ヒーター「iCas MCT」が、株式会社ニコン（東京・品川区）の半導体露光装置に採用されることが決まりました。これは、2026年12月に販売が予定されており、両社にとって重要なマイルストーンとなります。バージョンアップした半導体製造過程において、高精度な温度制御が可能なヒーター技術が求められている中で、今回の採用は経済性と効率性の向上に寄与することが期待されています。

先進的技術がもたらすメリット

半導体業界は、日々増加する需要とコスト削減の課題に直面しています。特に、半導体露光装置には、シリコンウェハに極めて精密な電子回路パターンを形成することが求められ、その温度制御の精度はmK（ミリケルビン）単位でなければなりません。この高精度な温度管理は、露光装置の生産性やエネルギー効率を直接的に向上させるため、重要な要素となります。

巴川の「iCas MCT」は、従来のヒーター部品との違いとして、ステンレス繊維を使用した多孔質構造の「ステンレス繊維シート」を採用しています。この新しいアプローチにより、ヒーターに通気性が生まれ、熱の効率的な分散が可能になりました。これにより、熱容量を抑えつつ高い温度応答性と昇温性能が実現され、ヒーター部品の小型化にも寄与しています。