THK株式会社が新たに発表した高速対応のミニチュアLMガイドの魅力とは

THK株式会社が新たなミニチュアLMガイドを発表

東京のTHK株式会社は、半導体製造における生産性向上を目指し、高加減速対応・低摺動のミニチュアLMガイド（形番：AHR）の受注を開始しました。この新しい製品は、高速かつ高加減速での動作に最適化されており、業界での競争力をさらに高めることが期待されています。

1. 新ミニチュアLMガイドの特長

高速・高加減速対応

新たに開発されたボール循環部品の導入により、ミニチュアLMガイドは最高速度5m/s、最高加減速度300m/s²を実現。そのため、生産要求が厳しい半導体製造装置、特にダイボンダーやテストハンドラーなどの後工程において大きな効果を発揮します。

低摺動抵抗

THKのコア技術である4列サーキュラーアーク溝2点接触構造が採用され、従来よりも低い摺動抵抗を実現。この技術により、サーボ制御の精度が向上し、生産性のさらなる向上が見込まれます。

取付寸法互換

さらに、既存の2列ゴシックアーチ溝を用いたミニチュアLMガイドとの取付寸法に互換性があるため、置き換えが容易です。これにより、既存のラインでの使用がスムーズに行えるようになります。

2. 産業界への影響

半導体業界は、近年ますます厳しい競争にさらされています。生産プロセスの革新や効率化が求められる中、THKの新しいミニチュアLMガイドは、高速化、精度の向上、そして長寿命化といったニーズに応える製品となっています。これにより、半導体製造業者は、生産能力を向上させつつ、より多くの製品を市場に提供できる環境が整うことでしょう。

3. まとめ

THKは、安定した技術力を背景に、さらなる技術革新を目指しています。新しいミニチュアLMガイド（AHR）は、その革新の一環として、半導体製造装置の性能向上に実質的に貢献することが期待されます。これからも、高速化、高精度化、小型化、長寿命化をテーマにした製品開発を続けていくことでしょう。今後の展開にぜひ注目していきたいです。