AI用次世代半導体向け新型ガスチューブヒーターの誕生

マイセックが新たに開発した高温ガスチューブヒーター

愛知県名古屋市に本社を構える株式会社マイセックは、次世代の人工知能（AI）向け半導体製造に特化した、高温ガスチューブヒーターを開発しました。この新製品の特徴は、従来の日本国内の半導体製造技術を一歩進化させ、250℃での精密な温度制御を可能にした点です。2025年1月からの販売を予定しており、今後、多くの注目を集めることでしょう。

AI用途の増加とその課題

昨今、AIの急速な普及に伴い、この技術に特化した半導体の需要が高まっています。これにより、AI向け半導体を製造する過程において、従来の製品では対応しきれない温度管理の課題が浮上しています。従来の半導体製造では、200℃の温度制御が求められていましたが、AI半導体の製造過程では、より高温の250℃が必要とされるためです。マイセックは、このニーズに応える形で新型ヒーターを開発しました。

技術革新とその利点

開発した高温ガスチューブヒーターの最大の特徴は、最高使用温度が300℃であり、用途に応じて温度管理ができることです。また、配管に各種ヒーターを後付けする従来の方法ではなく、新たに編み込む技術を導入しました。これにより、配管内部の温度ムラが低減し、高い均熱性を実現しています。この改善は、配管内のガスの結晶化を防ぎ、生産効率の向上にも寄与します。

省スペース設計と安全性

さらに、この新型ヒーターは軽量で断熱性に優れたエアロゲルを使用することで、断熱効果を高め、外径を35mmに抑えました。この設計により、省スペース化を実現しつつ、ヒーターの表面温度を80℃以下に保つことで、他の設備への熱影響を最小限に抑えることができました。これにより、使いやすさと安全性が大幅に向上しています。