新たな次元の加工技術を実現する「LazEdge」販売開始

日本電子の最新レーザー加工SEM「LazEdge」

日本電子株式会社は、次世代のレーザー加工技術を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)システム「LazEdge」を開発し、2026年5月25日から販売を開始します。この新しい装置は、集束イオンビーム発生装置(FIB)を核にした断面加工のニーズに応えるものであり、研究機関や大学、さらに産業界において広く利用されることを期待されています。

LazEdgeの特徴

1. 高品質な断面加工

「LazEdge」は、浜松ホトニクス社製の独自のレーザー技術を融合し、SEM試料室内でのレーザー加工を可能にしています。新たな光学系により、空間的にレーザー光の位相変調が行え、リップス構造が少ない高精度な断面加工を実現しました。この技術により、高速で広範囲の加工が可能となります。

2. クリーンかつ安定した加工環境

特に注目すべきは、独自のシールド技術「LazEdge Shield」によって、加工時に発生するデブリの飛散を最小限に抑えることができる点です。この技術により、施設内部を清潔に保ちつつ、高品質な加工を維持できます。また、シールド上でのレーザー照射位置に対しても同時にフォーカスし、加工とともにシールドのクリーニングも行えるため、常に安定したパワーで断面加工が行えます。

3. シームレスな加工と観察

「LazEdge」は、試料室内での加工と観察を効率的かつシームレスに実施することができます。例えば、EBSD測定においては、レーザー加工のみで必要な品質の断面を得られるため、加工と測定を自動的に繰り返すことができ、3D EBSDの取得も可能です。これにより、利用者は高効率で、信頼性の高いデータを得ることができます。