愛知の企業が革新的CVD-SiC製品「Mirror Beta®」をグローバル展開

東海エンジニアリングサービス、CVD-SiC製品を世界へ展開

愛知県名古屋市に本社を置く株式会社東海エンジニアリングサービス（TES）は、独自に開発した化学蒸着法（CVD）による炭化ケイ素（SiC）製品「Mirror Beta®」のグローバル展開を正式に開始することを発表しました。この革新的な製品は、世界市場でのトランジションに向けて期待されています。

革新的技術の開発背景

TESは、国の開発支援プログラム「サポイン事業」を活用し、CVD法を用いたSiC製造技術の開発に取り組んできました。これまでの技術では、CVD法によって形成される皮膜層は数十ミクロンが限界でしたが、TESの独自開発装置により、なんと7mmまでの厚膜形成が可能になりました。この突破により、ミラーや光学部品に必要な性能が大幅に向上しました。

世界最高水準の特長

「Mirror Beta®」は、これまで実現できなかった技術的特長を備えています。まず一つ目は、世界最高水準の厚膜形成能力で、7mmの厚さが実現しました。二つ目は、独自の装置とプロセス開発を通じて、結晶粒径を非常に微細に制御できるようになったことです。この技術により、光学用途に特化した均一で緻密な結晶構造が実現しており、これは多刃工具による切削実験でも確認されています。

グローバル展開と商標登録

世界的な需要の増加を受けて、TESはアジアや欧州への製品輸出を本格化させています。製品の品質と信頼性を証明するため、超精密な鏡面を持つ立方晶（βタイプ）結晶の特徴を示す「Mirror Beta®」の商標を、日本を始め米国、EU、中国、韓国、台湾など多くの国で取得しています。この商標は、製品の競争力を高める重要なステップです。