液温変化に対応した新型流量計、安定した測定を実現

新型流量計「マルチフローR™」の誕生

最近、株式会社リガルジョイントが発表した新型流量計「マルチフローR™」が注目を集めています。この製品は、80種類の薬液に対応し、液温による流量誤差の低減を実現するものです。

半導体製造における課題

半導体製造装置やケミカル供給設備では、液体の温度変化が流量計測に大きな影響を及ぼします。従来のカルマン渦式流量計では、温度補正機能が無いために、液温の変化により流量測定の精度に誤差が生じ、手動での調整が必要となることがありました。これにより、監視や調整に多くの工数がかかるという課題が残されていました。

マルチフローR™の特長

「マルチフローR™」は、流路内に温度センサーを搭載しています。これにより、使用流体の温度をリアルタイムで計測し、温度変化に応じて流量を自動補正。これにより、従来のように手動での調整や監視が不要となります。

温度補正機能

流体の粘度が変わる事による渦周波数の変動を補正する機能が、流量計測の精度を向上させます。この温度補正機能によって、流量管理が安定し、その結果としてプロセスの品質維持に貢献します。

対応する薬液

「マルチフローR™」はNew PFA接液構造により、約80種類の薬液に対応しています。その流量範囲は0.3L/minから100L/minと幅広く、さまざまな業界で活用が期待されています。製品はコンパクト設計で、可動部やオーリングレス構造を採用。さらに、取り扱いが容易な点も魅力です。

今後の展開

この新型流量計は、半導体製造装置メーカーや薬液を使用する産業装置メーカーに向けて展開される予定です。リガルジョイントは今後、用途に応じた製品ラインアップの充実を図り、産業装置分野における効率的な配管の実現にコミットしていく方針です。

発売日

「マルチフローR™」の発売日は2026年6月15日を予定しており、出荷はその夏以降を見込んでいます。今後の市場反応が楽しみです。

会社概要

株式会社リガルジョイントは、1974年の創業以来、流体やガス、配管に関する真空技術や配管技術を駆使して多様なオリジナル製品を開発してきました。事業内容は流体制御機器、環境事業、受託製造、熱交換器事業に分かれ、様々な最先端分野で利用されています。

詳細は公式ウェブサイトをご覧ください: リガルジョイントHP