堀場アドバンスドテクノが新薬液モニタリングシステムCS-1000を発表

株式会社堀場アドバンスドテクノは、11月19日に新たな薬液モニタリングシステム「CS-1000」を発売すると発表しました。この製品は、半導体製造において重要な役割を果たし、現場のニーズに応えるものとして注目されています。

新たな薬液モニタリングシステムの登場

薬液モニタリングシステム「CSシリーズ」は、1995年の登場以来、約30年間にわたって半導体製造プロセスの現場で活用されてきました。新製品となる「CS-1000」は、これまでの技術を基にさらに性能を向上させています。このシステムでは、薬液中のppmレベルの微量成分を前処理なしで検出でき、品質管理の高度化にも寄与します。

このシステムでは、最大8成分の薬液濃度、導電率、pHを同時に測定することが可能です。特に、半導体の製造プロセスにおいては、微細化が進む中で、薬液の品質を高めることが求められています。このため、高精度なモニタリングは非常に重要です。

開発の背景と必要性

現在、半導体デバイスの製造には多成分の薬液が用いられており、それらには微量成分を含むことが多いため、厳格な品質管理が必要となっています。特にppレベルの微量成分については、従来は前処理が必要であり、連続的なデータ測定が困難でした。このような課題を解決するために、CS-1000が設計されました。

半導体製造現場に設置できるオールインワンモデルとして、高機能を持つこのシステムは、より効率的な運用を実現します。

製品の特長

1. 微量成分の連続モニタリング
システムは、吸光度、導電率、pHデータを複合的に分析する独自のアルゴリズムを駆使し、薬液の前処理なしでppmレベルの微量成分を検出します。最大8成分の濃度を、最短6秒の更新周期で同時測定できます。これにより作業効率が向上します。

2. メンテナンスの簡素化
ユーザーが行うメンテナンスは半年に一度、約4時間で済みます。また、pHを除く測定には試薬を必要としないため、ダウンタイムやランニングコストを大幅に低減します。

3. 設置が容易なデザイン
オールインワンシステムは独立したキャビネットに集約されており、製造現場に設置するだけで使用が開始できます。タッチパネルを採用しており、操作は簡単です。

主な仕様

- 薬液同時測定数：2薬液種
- 測定項目：薬液濃度(最大8成分)、導電率、pH
- 寸法：700(W)×610(D)×1640(H)mm
- 重量：約200kg

まとめ

堀場アドバンスドテクノは、半導体製造分野における技術革新を常に追求し続けており、新製品「CS-1000」もその一環となっています。薬液モニタリングにおいて、より高い精度と効率性を提供することで、業界における信頼性の向上を目指しています。これにより、半導体製造現場での品質管理の向上が期待されます。今後の展開に注目が集まっています。