ボールウェーブ、世界初の特殊ガス供給システム向け水分計が認証

ボールウェーブ、台湾で認証を受けた最先端技術

近年、半導体業界においての技術革新は目覚ましく、特に水分管理の精度が求められています。そんな中、ボールウェーブ株式会社が開発した特殊ガス供給システム向けのオンライン微量水分計FT-450WTが、台湾の著名な半導体製造企業によって認定を受けました。この発表は、同製品が市場での競争力を高めるだけでなく、ボールウェーブの卓越した技術力を証明する出来事となりました。

特殊ガス供給システム向けのニーズ

ボールウェーブは、クリーンな環境を提供する半導体製造プロセスにおいて、微量水分の管理が重要であることを認識し、FT-450WTを制作しました。この装置は、工業用ガスや天然ガスの中に微量含まれる水分子を高精度に検出し、リアルタイムでのモニタリングが可能です。FT-450WTは、動作速度が優れており、1ppbv（10億分の1）レベルの水分濃度を測定できる技術を備えています。

ボールSAWセンサの優位性

FT-450WTが搭載するボールSAW（弾性表面波）センサは、従来技術に比べて約100倍の感度を誇ります。これにより、非常に微細な水分量の変化を瞬時に捉えることが可能となります。また、センサーユニットと本体を分離した設計により、装置の組込みが容易になり、設置場所に応じた柔軟なレイアウトが実現されました。

ボールウェーブの理念

ボールウェーブは、大学発のベンチャー企業として、安全・安心・クリーンで持続可能な社会の実現を目指しています。東北大学の技術を活用し、新しい技術を創出することで、より良い未来を形作る理念を持っています。社長の赤尾慎吾氏は「私たちのケミカルセンシング技術が、半導体製造における高い品質基準の達成に寄与できることを嬉しく思います」とコメントしています。

台湾での今後の展望

FT-450WTは2024年10月より台湾の顧客工場での検証が開始されます。このテクノロジーは、世界中の半導体製造現場での導入が期待されており、さらなる技術革新を牽引する役割を果たすでしょう。また、AccuDEVICEおよびTronic Purityとの協力により、ボールウェーブは国際的なネットワークを広げ、新しい市場での可能性を探ることになるでしょう。