新コスモス電機が新たに硫化カルボニル用センサを発表
新コスモス電機株式会社は、半導体製造工場向けの新しいガスセンサ「CDS-7シリーズ」を発表しました。このセンサは、日本国内にとどまらず、海外の半導体工場にも幅広く対応できるよう設計されており、2025年10月1日から販売が開始される予定です。
進化したガス検知技術
半導体製造工場では、人体に危険を及ぼす様々なガスを扱う必要があります。これを受けて、多くのガス警報装置を設置することが求められます。特に、特殊高圧ガスに関する規則では、適切なガス漏えい検知警報設備の校正が定められており、6ヶ月ごとの定期的な点検が義務付けられています。
新コスモス電機は、1997年に初めて「PS-6」としてガス検知器を開発し、続けて2003年には「PS-7」を展開、2024年からは「PS-8シリーズ」もリリースしました。この製品群の特徴として、校正済みのガスセンサを簡単に交換できる点が強調されています。これにより、現場でのガス校正が不要となり、メンテナンスも手間要らずです。
新技術がもたらす革新
特に三フッ化窒素(NF3)や硫化カルボニル(COS)用のセンサでは、ガスを検知する前に熱分解を行う必要があり、このための熱分解装置はかなりのスペースを占めていました。新コスモス電機は、この技術を応用し、熱分解コンバータをセンサ自身に内蔵することで、省スペース化を実現しました。これにより、半導体工場における設置場所の確保が容易になるでしょう。
CDS-7シリーズの特長
CDS-7シリーズでは、熱分解コンバータやパージフィルタが不要となっています。新コスモス電機独自の触媒技術により、熱分解用ヒータ部分がコンパクト化され、センサ内に効率的に収納できるようになります。これにより、ガスセンサはアルコールなどの他の要素に干渉されることなく、安定した性能を発揮することが可能です。すでに多くの現場で使用実績があるNF3用センサをベースにした設計は、信頼性も十分です。
新コスモス電機は1964年に世界で初めての家庭用ガス警報器を開発以来、「世界中のガス事故をなくす」という使命のもと、ガス警報器や火災警報器の設計・製造・販売を行ってきました。現在では、すべての製品に共通するガスセンサ技術を駆使し、数多くの新商品を市場に提供してきました。
会社情報
新コスモス電機株式会社は、大阪市淀川区に本社を置き、家庭用ガス警報器を含む多岐にわたる監視装置を開発しています。会社の理念として、「技術革新により人々の安全を守る」という姿勢を掲げており、業界のリーダーとしての地位を確立しています。製品に関する詳細は、公式ウェブサイトを通じて確認できます。
新たに登場するCDS-7シリーズが半導体製造工場の安全性を一層強化し、業界全体に影響を及ぼすことが期待されます。