最新のダイヤモンド基板がもたらすパワーデバイス革新

はじめに

株式会社イーディーピーは、大型のダイヤモンド単結晶を製作する技術を駆使し、新たに大型低抵抗基板を発表しました。当社は、人工的に生み出されたダイヤモンド（Laboratory Grown Diamond：LGD）の製造に特化した企業であり、これまでにも様々な基板や光学部品を提供してきました。ダイヤモンドの優れた半導体特性を活かしたデバイスの開発は、世界的に注目を集めており、それに応じて高性能な基板製品の需要が高まっています。

新商品の概要

新たに発売された低抵抗基板は、昨年8月に高濃度のボロン（ホウ素）をドーピングしたダイヤモンドで製造されており、サイズも7x7mmを超えるものが提供されました。具体的には、10x10x0.2mm、13x13x0.2mm、12.5φx0.2mmなどのバリエーションがあり、それぞれが大きなパワーデバイスの開発に適した設計となっています。

製品の特性と特色

今回の商品は、昨年8月に発売した低抵抗ダイヤモンド基板の基本特性を継承しつつも、サイズが大きくなることで、より多様なデバイス製作が可能になります。これまでの7x7mm以下の基板では、小型デバイスしか製作できず、大型デバイスの試作には制限があったため、この新しい製品によって、デバイス開発が一層進展することが期待されています。

特に、直径12.5mmのミニマルウエハも新たに作成可能になったことから、安定したデバイス製作が実現します。すべての基板が単結晶であるため、面内の特性は均一で、性能を発揮しやすいのが特徴です。

今後の展望

当社は、ダイヤモンドデバイスの開発をさらに推進するため、新しい基板やウエハのラインアップを増やす計画を立てています。また、単結晶のさらなる大型化や、複数の単結晶を接続したモザイクウエハの開発にも取り組んでいきます。進化するデバイス開発に伴い、さまざまなエピタキシャル膜を用いた基板の需要も増すと考えており、量子デバイスに適した基板の開発にも注力していく所存です。

まとめ

新しい大型低抵抗基板の登場は、パワーデバイスの分野において新たな展開をもたらすことが期待されています。株式会社イーディーピーは、これからも革新的な製品を通じて、ダイヤモンドデバイスの可能性を広げていくことを目指します。また、この製品に関する問い合わせや詳細については、当社営業部までお気軽にご連絡ください。

[写真1]：大型低抵抗基板の製品

すべての製品情報については、公式サイトをご覧ください。

■お問い合わせ先
株式会社イーディーピー営業部
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