堀場エステックが新たに超薄型マスフローコントローラー「DZ-107」をリリース

堀場エステックの新製品「DZ-107」の登場

堀場エステックは、半導体事業を手掛ける企業であり、その中で新たに超薄型マスフローコントローラー「DZ-107」を発表しました。この新製品は、1月14日に発売される予定であり、業界のニーズに応える進化を遂げています。

1. 特徴と技術的進歩

「DZ-107」は、従来モデルの「DZ-100」シリーズの最新機種であり、特筆すべきはその薄さです。幅わずか10mmというデザインで、フルスケール流量が従来の約7倍に拡大され、最大20SLMという業界最高水準の流量制御が可能となりました。この革命的な変更により、エッチングプロセスはもちろん、CVDやALDといった新たな成膜プロセスでも使用可能となります。

さらに、従来の機種よりも使用温度範囲が拡大され、最大60℃まで対応可能になりました。これにより、エッチングや成膜における要求に応えることができ、冷却や加熱を必要とするガスの安定供給が確保されています。特に、常温で液化してしまうガスを扱う際には、この温度管理が非常に重要です。

2. 多様なニーズに応える設計

この新しいマスフローコントローラーは、全体的な設計の見直しが図られています。特に注目すべきは、EtherCAT通信に対応している点で、リアルタイムかつ高精度なデータ通信が可能です。これまでのようにパソコンを介して流量やガス種を変更する必要がなく、装置から直接ガスの仕様変更ができるため、利便性が飛躍的に向上しています。

3. 開発背景と市場動向

堀場エステックは、マスフローコントローラー市場で60％のシェアを持つリーディングカンパニーであり、今回の「DZ-107」は、その技術への信頼を基にした革新的な製品です。近年、半導体デバイスの微細化が進む中、エッチングや成膜などの工程に求められる精度が高まり、企業はより多くのマスフローコントローラーを必要としています。

また、製造装置の小型化が進む中で、コンパクトな設置が求められるため、既存の技術を活かしつつ新たな設計を模索する必要があります。このような背景を受けて、堀場エステックは「DZ-107」を開発し、製品力の向上を図りました。

4. 今後の展望

堀場エステックは、今後も技術革新を続け、マーケットのニーズに応える高性能な製品を提供し続けるとのことです。最新の「DZ-107」は、単なる新製品にとどまらず、半導体業界における新たなスタンダードとなることが期待されています。業界をリードする製品を通じて、将来の半導体製造プロセスにおいても重要な役割を果たすことでしょう。

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