三菱ケミカルが半導体向け超高純度コロイダルシリカの事業展開を発表

三菱ケミカル、半導体向け超高純度コロイダルシリカを事業化

三菱ケミカル株式会社は、半導体業界のニーズに応える新たな試みとして、超高純度コロイダルシリカの事業化を決定した。この取り組みは、最先端の半導体向け研磨剤の重要な原料となる。新たに北九州市に生産設備を設置し、2028年10月より営業を開始する予定だ。

コロイダルシリカの重要性

コロイダルシリカは、シリコンウエハの研磨スラリーや配線層の化学的研磨（CMP）スラリーに使用される。シリコンウエハの表面をナノレベルで平坦化するために、コロイダルシリカは極めて重要な役割を果たしている。研磨プロセスでは、不純物を含まず、スクラッチを最小限に抑えながら高い除去率を実現することが求められる。そのため、適切なコロイダルシリカの粒子形状や物性が不可欠となる。

超高純度の生産技術

今回事業化される超高純度コロイダルシリカは、原料のテトラメトキシシランから一貫して生産されることで、不純物を抑えた材料が実現される。当社がこれまで築いてきた技術力を基に、顧客の要求に応じた粒子サイズや密度の調整も可能であり、多様なニーズに応えていく方針だ。これにより、幅広い半導体製造プロセスにおいて最適な材料を供給できる。

半導体市場の成長への対応

半導体市場は、特に生成AIやデータセンターといった最先端分野での成長が期待されている。三菱ケミカルは、「KAITEKI Vision 35」においてデータ処理と通信の高度化を重点事業に設定し、半導体製造に見合った材料提供を通じて、業界の発展に貢献することを目指す。これにより、世界の最前線で活動する半導体製造業者たちの要求に応えながら、持続可能なサプライチェーンを構築する一翼を担うこととなるだろう。

今後の展望

この事業化により、三菱ケミカルは半導体製造の材料サプライヤーとしての地位をさらに強化し、新たな挑戦を続けていく予定だ。技術と品質を追求し、未来の半導体市場における競争力を高めることを目指す。九州事業所に新設される生産設備は、業界のニーズに対応した高性能資材を安定的に供給する重要な拠点として機能するだろう。

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