カイジョーが新たに半導体向け超音波洗浄機『QUAVA mini Mega Puck』を販売開始

株式会社カイジョーが新型超音波洗浄機を発表

株式会社カイジョー（東京都羽村市）は、半導体製造工程に特化した新しい超音波洗浄機『QUAVA mini Mega Puck』の発売を発表しました。この製品は、半導体のウエハやレジスト剥離、エッチング後の残渣除去などに使用される精密洗浄を目的としています。カイジョーの独自技術を活かしたこの洗浄機は、超音波を利用した新しい接液洗浄方式を採用しており、特に微細な汚れを効果的に除去できる機能を備えています。

高性能化が求められる半導体業界

近年、半導体技術は急速に進化し、性能や微細化が求められています。この状況下では、製造過程における微細な粒子の付着や、エッチング後の残留物が回路に悪影響を及ぼすことがあります。これにより、回路のショートや歩留まり低下が引き起こされるリスクも高まっています。このような背景から、従来以上に高精度かつ安全な「高清浄度洗浄」が求められるようになりました。

しかし、細かな回路パターンは非常に繊細であるため、強力な洗浄力を持つ超音波洗浄機が回路を破損するリスクも潜んでいます。カイジョーは、この相反する課題を解決するために長年の技術と経験を基に、『QUAVA mini Mega Puck』を開発するに至りました。

新しい洗浄機の特長

『QUAVA mini Mega Puck』は、カイジョー独自の接液洗浄方式を採用しており、超音波を利用して構成される液膜が微細な汚れを除去します。特に3MHzの高周波超音波を使用することで、「ダメージレス」と「高清浄度洗浄」を同時に実現。

接液方式のメリット

この洗浄機の特徴は、振動子と洗浄物の距離を最適化するために、警告信号を発する機能を搭載している点です。これにより、無駄なエネルギー損失を防ぎ、安定した洗浄効果を確保しています。また、さらに安定した運転を可能にするために、さまざまな種類の薬液に対応する振動板素材も用意されており、石英やサファイヤ材質が選べるようになっています。

洗浄方式の比較

半導体製造において使用される主な洗浄方式の比較は以下の通りです:

- バッチ方式: 大量処理に向いているが、洗浄ムラや異物の再付着リスクがある。
- シャワー方式: 新しい液を循環させられるが、不均一な洗浄で回路を傷めるリスクあり。
- 接液方式: 均一に超音波が伝わり、優れた洗浄効果を提供。

製品仕様

以下は、『QUAVA mini Mega Puck』の主な仕様です:

- 発振器: 最大出力 50W、周波数 950kHz・3MHz
- 電源: AC100V～AC240V
- 外形寸法: 218(W) × 258(D) × 138(H) mm
- 耐久性: 長時間の連続運転が可能です。

会社プロフィール

カイジョーは、長年の超音波技術を基盤に、半導体製造装置や洗浄機器の開発・製造・販売を行っており、顧客のニーズに応じた製品のカスタマイズにも対応しています。68年以上の歴史を有し、確かな技術を提供し続けることで、半導体業界の信頼を得ています。今後も更なる技術革新を目指し、顧客の期待に応える努力を続けていきます。