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InfinitesimaのMetron3Dシステムの進展

Infinitesimaは、最新の300mmインラインウェハ計測システム「Metron®3D」が大手DRAMメーカーに正式に採用されたことを発表しました。このシステムは、ハイブリッドボンディングや高NA EUVリソグラフィー、CFET（相補型電界効果トランジスタ）など、多様な最先端アプリケーションに対応した計測ソリューションとして期待されています。

この新しいプロジェクトは、ASMLなどのパートナー企業との協力により実施され、3年間にわたる開発が予定されています。プロジェクトの主な目的は、業界が求める高スループットと大量生産環境下での3D構造の詳細な計測を実現することです。Infinitesimaの革新的なRapid Probe Microscope（RPM™）技術を駆使することで、高速イメージングと高精度の測定が可能になり、産業界の要求に応えることができます。

さらに、本プロジェクトの一環として、Infinitesimaはナノエレクトロニクスの研究拠点であるimecと連携し、装置を設置する予定です。imecは、次世代デバイス開発に欠かせない研究機関であり、本システムの導入により、ASMLなどのパートナーが進めるレジスト・イメージングの特性評価と開発が強化されます。Infinitesimaはimecと密接に協力し、装置の機能改善や性能向上に努め、真の3Dプロセス制御を実現することを目指しています。

このパートナーシップは2021年に始まり、当初はナノスケールの断層像センシングに特化していましたが、今回は高速インライン生産計測にまで対象が広がりました。これにより、半導体業界の複雑化する3D構造やサブナノメーターのフィーチャーに対する検査需要に応える製品が期待されています。

InfinitesimaのCEO、Peter Jenkins氏は「計測分野における課題解決に貢献できることを嬉しく思っています」と述べ、パートナーシップの拡大によりインライン半導体計測のリーダーとしての地位が強化されることを強調しています。また、デバイスアーキテクチャの小型化や複雑化を促進することで、業界全体の進展にも寄与するでしょう。

Infinitesimaは、英国に本社を置き、半導体向けの高度な計測ソリューションを提供する企業です。主に原子間力顕微鏡をベースとした技術を持ち、高精度の3D計測に対応したRPM™を開発しています。当社は、次世代プロセスの管理に不可欠な3D計測技術を提供し続けており、業界のニーズに応える姿勢を貫いています。

最新のMetron®3Dシステムに関する詳細や研究開発の取り組みについては、公式ウェブサイト Infinitesima をご覧ください。

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