浜松ホトニクス、LN₂不要の新型発光解析カメラを発表

24時間安心の発光解析が可能に

浜松ホトニクス株式会社が新たに発表した発光解析カメラ「Solid Cold Emmi-X」は、半導体業界に新風を巻き起こす革新的な技術を搭載しています。このカメラは、従来の液体窒素冷却システムを必要とせず、リニア冷却方式を採用しています。これにより、より高い安定性と優れたメンテナンス性が実現され、24時間連続での駆動が可能です。

高い信頼性と安定性

Solid Cold Emmi-X カメラは、MTTF（平均故障時間）が90,000時間という高信頼設計が施されており、半導体故障解析装置としての稼働率を大幅に向上させます。冷却機構は非接触で動作し、急激な温度変化によるトラブルを防ぎ、安定した解析が行える点が大きな特長です。

微弱光の高感度検出

このカメラは、1k×1kセンサによる広視野観察が可能で、特許出願中の技術によってノイズが低減され、微弱発光を高感度で捉えることができます。高速波長切り替え機構により、わずか5秒での切り替えが可能で、これによって複雑なデバイスの解析も迅速に行えます。

高密度メモリデバイスの解析を加速

解析の具体例を挙げると、7nmプロセスのロジックデバイスにおいて、リング発振器の構造を解析した際には、60秒の露光時間での撮像が行われ、安定したデータを取得することができました。これにより、高密度メモリデバイスの故障解析においても、高い稼働率が実現され、業界の期待を集めています。

製品情報と販売について

このSolid Cold Emmi-X カメラは2026年7月7日（火）から受注を開始します。価格は税抜き1式1.3億円で、初年度の販売目標は10台、3年目には12台、5年目には15台を見込んでいます。また、シンガポールで開催されるIPFA2026においても同製品が紹介される予定で、興味のある方はぜひブースに立ち寄ってみると良いでしょう。