株式会社アルバックの新たな半導体成膜装置「ENTRON-EXX」受注開始

新時代の半導体製造を支える「ENTRON-EXX」

株式会社アルバック（本社：神奈川県茅ヶ崎市）は、半導体業界向けの新モデル成膜装置「ENTRON-EXX」の受注を開始しました。この新製品は、これまでの「ENTRON-EX W300」の特長をしっかりと受け継ぎながら、データインテリジェンスの強化と拡張性を有する次世代プラットフォームとして設計されています。

ENTRON-EXXの特長

半導体製造はますます高度化・複雑化している中、「ENTRON-EXX」はそのニーズに応えるべく開発されました。2005年のリリース以降、世界中の多くの顧客に採用されている従来モデルの生産性と柔軟性を活かしつつ、データの収集・解析能力を大幅に向上させています。また、装置の設計も柔軟性に優れたものとなっており、次世代の半導体製造を強力にサポートします。

1. 工場スペースの最適化

顧客の求める生産性向上には、工場スペースの効率的な運用が欠かせません。「ENTRON-EXX」は、SingleとTandemの2つのプラットフォームを提供することで、各顧客の工場に合わせた効率的なレイアウトが可能です。これにより、スペースあたりの生産性を最大限に引き出すことができます。

2. データ収集と解析の強化

高度な半導体製造に対応するため、データの収集と解析能力が大幅に改善されました。「ENTRON-EXX」はリアルタイムで大量のデータを処理し、歩留まりの向上や予防保全、作業効率の改善に寄与します。これは、製造工程の質の向上に直結する重要な機能です。

3. 柔軟な装置設計

顧客の技術開発において、スピードは重要な要素です。「ENTRON-EXX」は、迅速なモジュールの追加や置換が可能な設計を採用しており、顧客の変化するニーズに柔軟に対応します。これにより、最適な開発・生産環境を提供できるのです。

未来につながる可能性の場

アルバックは「未来につながる可能性の場」として、真空技術の総合利用を通じて半導体産業の発展に寄与してまいります。これは、アルバックグループが掲げる「Vision2032」の中でも強調されています。「可能性の場」とは、真空にエネルギーが注ぎ込まれることで新たな価値が生まれるという理念に基づいています。

行動することで、私たちは新しい技術や製品をお客様に提供し、社会的な課題に立ち向かう努力を続けています。

この新モデル「ENTRON-EXX」が、半導体業界のさらなる発展を支える一助となることを期待しています。