THK株式会社、半導体製造装置向けの新型免震台を受注開始

THK株式会社、半導体製造装置向け新型免震台を発表

THK株式会社（東京都港区、代表取締役社長：寺町崇史）は、半導体製造装置である「縦型炉」向けの新しい免震装置『縦型炉用新型免震台』の受注を10月より開始すると発表しました。これは、中小地震から大地震までを幅広くカバーするために設計されており、業界のニーズに応えるものとなっています。

新型免震台の特徴

新しい免震台は、中小地震（震度3から5弱）の際に、縦型炉内部のウェハーの欠陥を減少させることを目的としています。一方で、大地震（震度5強以上）の場合には、縦型炉本体や石英パーツを保護し、しっかりとした機能を維持するという役割も果たします。これは、半導体業界内で以前から求められていたニーズに基づいて開発された製品です。

従来の免震台は、主に大地震の際の損傷防止を目的としていましたが、実際には中小地震も頻発しており、これによって生産性に影響を及ぼす懸念がありました。THKの『縦型炉用新型免震台』は、両タイプの地震に対して対応できる設計であり、業界の期待に応えるものとなっています。

技術的な革新

この新型免震台には、免震性能の切り替え機構が備わっており、地震発生後も迅速に生産を再開できる助けとなります。特に、二段階可動方式により、低い加速度で始動し、特定の可動域を超えると免震性能が切り替わる構造を導入しています。これにより、揺れの大きさに応じた最適な免震効果を発揮することが可能です。

カスタマイズ性

さらに、新しい免震台は縦型炉の仕様に合わせたカスタマイズができる点でも優れています。複数の支承ユニットを配置し、それぞれを連結することで、様々な形状や仕様に対応可能な設計が実現されています。支承ユニットのラインナップは3種類あり、その組み合わせで最適な免震性能を発揮することができます。

まとめ

THKは、これまでに多くの実績を築いてきた直動案内技術を応用し、建物用免震からフロア免震まで様々なニーズに応えています。新型の『縦型炉用新型免震台』は、機械的な安定性を確保し、業界の生産性向上に寄与することでしょう。今後の展開に期待が寄せられています。

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