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日立ハイテクが受賞した半導体自動検査技術

日立ハイテクが、公益社団法人発明協会主催の令和7年度関東地方発明表彰において、「文部科学大臣賞」と「実施功績賞」を受賞しました。受賞の理由は、半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡に関する特許技術にあります。この技術は、特許第7098743号で「荷電粒子線システム」として知られています。

受賞の背景と技術の概要

日立ハイテクは、この受賞を機に、Lumadaを基盤にしたデジタルサービスの提供を強化し、自社の電子顕微鏡の展開を促進していく意向です。本発明は、透過電子顕微鏡（TEM）に搭載されており、物質の原子レベルの微細構造を高精度に観察・分析することが可能です。特に、半導体デバイス製造の分野において、安定した高精度自動検査を実現しています。

半導体デバイスの製造においては、デバイスの更なる微細化と三次元化が求められており、これには高精度な検査が不可欠です。従来のTEM技術では、ユーザーによる手動調整が必要であり、多くの条件に応じて調整が変動しやすいという問題がありました。しかし、この新技術により、自動化された検査が可能になり、効率的な作業が実現しました。

技術の革新性と適用範囲

新技術では、TEMによって得られた観察像の特徴を詳しく解析し、素早く高精度な設定を自動的に行うことを実現しました。これにより、異なる構造や材料に対しても安定して検査を行うことができ、さらに大量のデータの連続確認にも迅速に対応できます。

日立ハイテクは、半導体だけでなく、先端材料開発やライフサイエンス分野への展開も視野に入れており、将来的にはより広範な領域でこの技術を活かしていく考えです。デジタルサービス「HMAX Industry」は、AIとドメインナレッジに基づき、デジタル化したデータを活用して、製造業界へ新たな価値を提供することを目指しています。

日立ハイテクの展望

日立ハイテクは、「知る力で、世界を、未来を変えていく」という企業ビジョンを掲げています。持続可能な社会の実現を目指し、半導体製造・検査装置だけでなく、医療用解析装置や環境分析装置など、さまざまな分野での技術開発に取り組んでいます。今回の受賞を契機に、さらなる技術革新と製品の発展が期待されます。

日立ハイテクは、社会や顧客の真の課題を理解し、最先端の製品・サービスを提供することで、持続可能な社会の実現に貢献していく意向です。より詳しい情報は日立ハイテクの公式ウェブサイトにて確認できます。

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