ウシオ電機の新型露光装置、LED光源搭載で生産効率向上

ウシオ電機が新たに誇る露光装置の登場

ウシオ電機株式会社は、東京都を本社とする老舗の光源メーカーで、2026年7月よりウェハ向け一括投影露光装置UX-4シリーズの新製品、「UX-44101SCB」と「UX-45114SCB」を受注開始します。これらの装置は、LED光源を搭載しており、特に半導体やMEMS、光半導体などのデバイスの生産効率を向上させるために設計されています。

LED光源による環境配慮と生産効率

近年、半導体産業は環境規制の強化に直面しています。特に化学物質の使用や排出に関する規制は厳しくなり、業界全体に影響を与えています。このような状況の中で、露光装置の光源をLEDに切替える動きが進んでいますが、LEDの照度不足により、特定のレイヤーに必要な高い露光量を確保することが難しいという課題がありました。

そこでウシオ電機は、長年の技術力を活かして従来の水銀ランプと同等の照度を持つLED光源ユニットを開発しました。これにより、UX-44101SCBとUX-45114SCBの高いスループットを実現し、BumpやWLPなどの工程にも柔軟に対応できるようになりました。これが、次世代電子デバイスの重要な生産に貢献することは間違いありません。

競争力のあるコストと機能性

この新型露光装置の大きな利点は、従来の水銀ランプに比べて露光時の迅速な点灯と消灯が可能であり、光源の長寿命化も実現しています。これにより、装置の導入後にかかるランニングコストを大幅に削減できるため、企業の競争力向上にも貢献します。

たとえば、ウシオの新製品がもたらす利点は、生成する製品の品質と効率が改善されることで、顧客満足度を向上させることにつながります。また、自動化対応が施されているため、生産ラインの効率も良く、新たな技術の導入も容易になります。

ウシオ電機の未来へのビジョン

ウシオ電機は、これまでも半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品製造など幅広い分野で高シェア製品を展開してきました。今後も「光」の力を用いて、便利で快適な社会の実現に向けた戦略的な取り組みを続けていきます。特にライフサイエンス分野への事業展開は、環境への配慮や社会貢献を意識したものとなっており、注目が集まっています。