BEAMシリーズの発表
2025-06-06 18:03:55

マスクレスリソグラフィ装置『BEAMシリーズ』の取り扱い開始に関するお知らせ

i-Wavefront Technology社のBEAMシリーズがついに日本上陸



株式会社光響は、シンガポールを拠点とする先進的な企業、i-Wavefront Technology社の「BEAMシリーズ」と呼ばれるマスクレスリソグラフィ装置の取り扱いを開始しました。この装置は、さまざまな産業に貢献する可能性を秘めた重要な製品です。

マスクレス技術の利点


「BEAMシリーズ」最大の特長は、フォトマスクを使用せずに、直接高精度な露光パターンを形成できる点です。この技術により、MEMS(微小電気機械システム)、マイクロ光学素子、バイオチップ、さらにはMicroLED開発など、多岐にわたる応用が期待されています。

製品のラインアップ


「BEAM Mk2」や「BEAM XL Mk2」などのモデルは、最小ライン幅0.8 µm、最小ピッチ1.6 µmの微細構造形成が可能です。これにより、今までにない高精細な描画が実現され、研究開発や試作においてもその真価を発揮します。特に405 nmのUVレーザーを使用し、1フィールドあたり2秒未満での高速露光を実現しているため、効率的にプロジェクトを進めることができるのです。

自動化機能の導入


さらに、「BEAMシリーズ」は自動フォーカス機能やマルチレイヤー整合機能を備えており、ユーザーが手動で調整する手間を大幅に減少させています。これにより、複雑なデバイス製作の際にもミスを最小限に抑えられ、研究者や技術者がより創造的な作業に集中できる環境を提供します。

対応フォーマットの多様性


ソフトウェア面においても、GDS、TIFF、PNG、KLayoutなど、さまざまなフォーマットに対応しているため、既存のプロジェクトやニーズに合わせた柔軟なオペレーションが可能です。これにより、依頼の背景や仕様に最適化されたカスタムデバイスの製作がスムーズに行えます。

取り扱いの相談はお気軽に


当社では、i-Wavefront Technology社が提供する「BEAMシリーズ」の各製品について、詳細情報や手配のご相談を承っております。興味のある方は、ぜひ下記のコンタクトフォームまたは電話にてお問い合わせください。


早速、先進的な技術を取り入れ、研究開発の効率化やイノベーションへとつなげるチャンスを逃さないようにしましょう。


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会社情報

会社名
株式会社光響
住所
京都市伏見区竹田西段川原町131番
電話番号
070-3966-9106

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