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精密な高さ測定を実現する新たな技術

新東工業株式会社が自社の本社を名古屋市に構え、半導体関連部品の製造工程の効率化を図るために、精密高さ測定機「PHM-400」を新たに販売開始しました。この革新的な測定装置は、高度なナノメートルレベルの性能を持ち、半導体製造に欠かせない測定作業を高速かつ高精度で行うことができます。

デュアルセンサーによる測定精度

「PHM-400」は、3Dセンサーと膜厚センサーのデュアル構造を採用しています。この技術により、保護膜で覆われた状態でも、±0.1μmという厳密な精度で溝とエンボスの高さを測定することができます。従来の測定方法では大きな製品には対応できなかったため、大型のΦ300mm以上の部品についても問題なく測定可能となり、技術的な進展が期待されています。

手間を削減し、作業効率を向上

従来の方法では、保護膜を一度剥がす必要があり、その後再び貼り付けてから加工を行うという、手間のかかるプロセスが存在しました。しかし、「PHM-400」は保護膜を維持したままでの測定が可能なため、再貼り付けの手間が省けます。これにより、測定作業にかかる時間は通常の1/9から1/3まで短縮される見込みです。

影響と期待される品質向上

自動化された測定過程によって、加工不良を引き起こすリスクも減少します。保護膜がずれてしまうことが無くなり、安定した品質での製品提供が可能となるでしょう。このように、高さ測定の効率化は、半導体製品の仕上がりにも大きな影響を与えます。

半導体業界へのさらなる貢献

新東工業は、露光、現像、ブラスト、エッチング、洗浄といった一連の半導体加工技術に加え、「PHM-400」を加えることで、そのラインアップを強化し、半導体業界における発展を目指しています。測定精度の向上は、半導体パッケージ工程に対しても適用が期待されており、今後の発展に目が離せません。

お問い合わせ先

この新しい精密高さ測定機に関する問い合わせは、新東工業株式会社SP事業部営業グループにて承っています。電話は046-248-0026、FAXは046-282-9163です。新たな技術による半導体業界の変革に、ぜひご期待ください。

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