ZEISSが新型FIB-SEM「Crossbeam 750」を発表！先進的なライブSEMイメージング技術を搭載

ZEISSが発表した新型FIB-SEM「Crossbeam 750」

2023年3月31日、カールツァイス株式会社は新型集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）、ZEISS Crossbeam 750をグローバルに発表しました。この最新機種は、従来の技術を大幅に向上させ、SEMイメージングをリアルタイムで行いながら、精密なTEM薄膜作製が可能です。そして日本においても本格的なプロモーションが開始されました。

進化したライブSEMイメージング機能

新しいCrossbeam 750は、進化したライブSEMイメージング機能を搭載しています。これにより、FIB加工を中断することなくリアルタイムで鮮明なSEM像を観察しながら、TEM薄膜試料を効率的に作成することが可能となります。特に、半導体デバイスの解析においては、高精度な試料作製が求められる中で、この技術は重要な役割を果たします。

Gemini 4電子光学系の利点

新開発のGemini 4電子光学系は、低加速電圧時の分解能とS/N比を飛躍的に向上させており、亀裂や欠陥のない高精度な試料作製が実現しました。これはTEM薄膜試料作製や3次元の解析において非常に重要です。特に、ナノスケールでの加工精度が要求される現代の材料科学やライフサイエンスにおいて、大きな影響を持つことでしょう。

リアルタイムの微調整が可能に

この新型機の最大の特徴は、加工中にリアルタイムでイメージを観察できる点です。このスタイルは、従来のFIB加工においては不可能だったもので、お客様がプロセスを微調整しながら試料作製を進められるように設計されています。「FIB加工を止めない」という理念に基づき、異なるFIB条件下でも鮮明なSEM像を提供し、TEM薄膜の均一性を向上させています。これにより、再加工の必要が減り、歩留まりが向上するのです。

幅広い応用可能性

新型ZEISS Crossbeam 750は、材料科学からライフサイエンスにかけてさまざまな分野での研究開発や検査プロセスを劇的に改善します。広い視野と低加速電圧での安定した観察性能が、データの信頼性を向上させ、効率的なデータ取得を実現します。また、無人運転による高スループットの可能性も秘めています。これにより、プロセス全体の生産性が大きく向上します。

先進的なボリュームイメージング機能

特に注目されるのは、Crossbeam 750の3次元ボリュームイメージング能力です。Biological関係の研究でも、この機能が活用されており、細胞生物学や神経科学など多岐にわたる用途での応用が期待されています。さまざまな危機条件下でも、正確な3次元解析が可能です。

最先端の解析を支えるZEISSの技術

ZEISSは、1846年にドイツで創業し、長い歴史を誇る光学技術の専門企業です。日本においても、1911年から長年にわたり活動を続け、革新的なソリューションを提供しています。今回のCrossbeam 750は、その伝統と技術力を存分に活かした製品です。常にイノベーションを追求し、研究開発には毎年15%の売上を投資しているZEISS。これからも、さまざまな分野に革新をもたらすことでしょう。

新型ZEISS Crossbeam 750についての詳細は、こちらの製品ページをご覧ください。製品ビデオも公開中ですので、ぜひチェックしてみてください。