次世代半導体微細加工を支えるEUVレジスト最新動向セミナー開催

半導体産業の進化が加速する中、顕著なニーズを背景に、株式会社AndTechは2026年9月14日に「EUVレジスト・メタルレジストの高性能化に向けた材料設計・反応機構・評価技術の最新動向」というテーマで、オンラインセミナーを実施します。このセミナーは、高度化するEUVリソグラフィ技術の課題解決を目的とし、各分野で著名な講師陣が最新の知見を提供します。

セミナーの内容

本セミナーでは、EUVレジストの基礎知識から、材料設計、高性能化に向けた反応機構と評価技術まで、幅広いテーマを扱います。参加者は、一日で次世代半導体技術の理解を深め、実用化に直結する知識を習得できる貴重な機会となっています。セミナーのプログラムは以下の通りです：

- 第1部 EUVレジストの基礎、要求特性および課題と対策、最新技術動向（講師：遠藤政孝氏）
- 第2部 先端半導体用EUVレジスト材料とその進展（講師：椿英明氏）
- 第3部 EUVレジスト材料の反応機構、高性能化とメタルレジスト材料の性能評価（講師：山本洋揮氏）
- 第4部 EUVレジスト、メタルレジストの評価技術（講師：関口淳氏）

講師陣の紹介

本セミナーには、各分野で活躍する専門家が参加します。Eリソリサーチの遠藤氏はEUVリソグラフィにおける基礎的な理論や最新技術を解説し、富士フイルムの椿氏は半導体材料の進展について言及します。山本氏は新たな材料評価手法を紹介し、関口氏は実際の評価技術にスポットを当てます。これらの知識をもとに、参加者は即時に実践的なスキルを習得できます。

参加概要

- 開催日: 2026年9月14日(月) 10:30 - 17:05
- 参加費: 66,000円（税込）
- 形式: Zoomによるライブ配信

なお、講座は録画されないため、参加を希望される方は事前に申し込む必要があります。詳細はこちらからご確認ください。

AndTechの取り組み

株式会社AndTechは、研究開発支援の専門企業として、化学やエレクトロニクス、医療機器など多岐にわたる分野において、最新の技術情報や教育を提供し、クライアントのニーズにこたえ続けるサービスを展開しています。例えば、技術講習会やセミナー、執筆、コンサルティングに至るまで、様々な形での支援を行っています。

今後も、半導体技術を中心とした最前線の情報を発信し続けることで、業界の発展に寄与することでしょう。この機会に、EUVレジストに関する知識を深めてみてはいかがでしょうか。