東京エレクトロンデバイスとアイテス、SiCデバイスの検査協業で革新を目指す

東京エレクトロンデバイスとアイテスによるSiCデバイス検査の革新

東京エレクトロンデバイス株式会社（以下、TED）と株式会社アイテス（以下、アイテス）は、SiCデバイスに特化した潜在欠陥検査ソリューションの開発において協力しています。この工程は、SiC（シリコンカーバイド）デバイスの測定と信頼性を向上させることを目指しています。両社は、新たに共同開発した「SiC潜在欠陥検査装置／通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」を通じて、業界の進化をリードすることを狙っています。

SiCデバイスの重要性

SiCデバイスは、省エネルギーとカーボンニュートラルの促進において重要な役割を果たしており、自動車や再生可能エネルギーの分野で頻繁に使用されています。しかし、SiC特有の結晶欠陥により、デバイスの長期信頼性が損なわれる可能性があります。そのため、新しい技術が必要とされています。従来の検査手法では、潜在欠陥を検出することは難しく、多くの時間とコストがかかるのが実情でした。

協業の背景と目的

TEDとアイテスの協力関係は、この問題に対処することを目指しています。最新の「SiC潜在欠陥検査装置」は、UVレーザーを用いてSiCウェーハの内部にある欠陥を短時間で可視化することが可能です。これにより、従来の数か月にわたる評価時間が大幅に短縮され、開発サイクルも効率化されます。さらに、評価サービスを通じてお客様がより高い信頼性を保持できるようサポートします。

新技術の特徴

新しく開発されたITS-SCX100には以下の特長があります：
1. 潜在BPDのビジュアライゼーション - UVレーザーを利用し、短時間でSiCウェーハの結晶欠陥を可視化。
2. 開発リードタイムの短縮 - 欠陥分布を即座に比較可能にし、開発サイクルを大きく短縮。
3. 品質保証への活用 - データを組み合わせ、デバイスの不良要因を高度に分析。
4. 評価サービスの提供 - 装置導入だけでなく、評価受託サービスとしても展開可能。

市場への貢献

TEDとアイテスは、SiCデバイスの品質向上に向けた取り組みを強化していく予定です。具体的には、評価サービスや技術セミナー、ホワイトペーパーの発表を通じて業界内での理解を深めることに努めます。また、SiCデバイス以外のパワーデバイス素材に対する検査ソリューションの展開も検討していく考えです。

企業の使命とビジョン

東京エレクトロンデバイスは、最先端のテクノロジーを活用し、社会の持続的発展に貢献する企業を目指しています。一方、アイテスは、電子部品の分析と信頼性評価の分野で都会のニーズに応えています。この協業によって、それぞれの強みを活かしつつ、新しい検査技術を市場に提供することが期待されます。

その詳細については、TEDおよびアイテスの公式ウェブサイトを通じて確認できます。企業間のコラボレーションによるイノベーションが、今後どのように進展していくか注目です。

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