インテグリスとJSRが極端紫外線リソグラフィ技術で協力し新たな飛躍へ

インテグリスとJSR、極端紫外線リソグラフィの進展に向けた協業を発表

米国マサチューセッツ州に本社を置くインテグリスと、東京都港区に本社があるJSR株式会社は、半導体業界のために新たな革新をもたらすべく、極端紫外線（EUV）リソグラフィ技術に関する非独占的なクロスライセンス契約の締結を発表しました。この契約は、半導体業界における次世代チップ製造の促進を狙ったもので、両社はこれを通じて材料の性能、純度、及び信頼性を高めることを目指します。

インテグリスのシニア・バイス・プレジデントであるオリヴィエ・ブラシエ氏は、「微細化が進む中、材料のイノベーションはこの業界にとって不可欠であり、本契約はエコシステム全体での進展を示すものです」と述べています。両社は特にメタルオキサイドレジスト（MOR）に関する特許のクロスライセンスを行い、今後のフォトレジスト材料における協業の可能性を探ることになります。

その具体的な協力内容には、レジスト設計やプリカーサー合成、新材料の開発が含まれています。また、高純度なろ過技術やそれに関連する供給システムの革新も視野に入れています。

業界の革新に向けた強力なパートナーシップ

JSRとInpriaが持つメタルオキサイドレジスト材料に関する専門知識は、インテグリスの高純度ろ過技術により、半導体製造の技術発展を後押しします。特に、AI時代に向けた先端技術の適応を目指す中で、両社の協力関係はさらに重要となります。

JSRの上席執行役員である木村徹氏も、「Inpriaの革新的な技術とインテグリスの専門知識を組み合わせることで、半導体産業におけるこれらの技術がより広く適用されることを期待しています」とコメントしました。

インテグリスとJSRの企業概要

インテグリスは、半導体やハイテク産業向けに先端材料とプロセスソリューションを提供するリーディングサプライヤーです。世界中で約7,700名の従業員を擁し、国際的な製造拠点を持ち、ISO 9001認証を取得しています。

一方、JSR株式会社は最先端材料の開発に特化したグローバル企業であり、豊富な電子材料製品を提供しています。近年では、Inpria Corporationの買収を通じて、EUV用メタルオキサイドレジストの研究開発に力を入れています。