タカノ、SEMICON Europa 2026で先進的なウェーハ表面検査装置WM+シリーズを発表

タカノ、SEMICON Europa 2026でのウェーハ表面検査装置新機種発表

タカノ株式会社は、2026年11月10日から13日までドイツ・ミュンヘンで開催される「SEMICON Europa 2026」に出展し、最新のウェーハ表面検査装置WM+シリーズの新機種「WM-7SR+」と「WM-10R+」を披露します。この展示は、同社の欧米市場における独占代理店であるClassOne Equipment, Inc.がブースB0 424で行う予定です。

製品の背景と市場のニーズ

近年、欧米地域では長年にわたって活用されてきたパーティクル検査装置の保守部品の確保や専門技術者の不足が深刻化しています。それに伴い、これらの装置を新たに更新したいというニーズが高まり、タカノのWM+シリーズはこの需要に最適な解決策を提供します。本シリーズは、幅広いサイズ（2インチから12インチ）のウェーハに対応し、長期使用に耐えうる高い信頼性と低コストを実現しています。

WM+シリーズの特長

WM-7SR+およびWM-10R+は、特にナノレベルの微細なパーティクルを検出できる能力を備えており、半導体デバイスの製造や材料開発において欠かせない存在です。これらの装置は、半導体レーザーを光源として使用し、ランニングコストの削減にも寄与しています。また、デザインも新しく刷新し、ブランドの統一感と訴求力を高めています。直感的で使いやすいデザインが、作業効率を向上させることを目指しています。

特にWM-7SR+は、最高感度が79nmで、ウェーハサイズは2～8インチに対応。ダイナミックレンジは79nmから5.0μmまで広がります。一方、WM-10R+は最高感度が48nmで、ウェーハサイズ4～12インチに対応。どちらのモデルもSEMI、FDA、CE、UKCAに準拠した安全性を確保しており、信頼性の高さを示しています。

展示会の内容と参加方法

SEMICON Europa 2026では、デバイスメーカーやウェーハ・材料メーカー、研究機関など幅広い対象のお客様に向けて、WM+シリーズの特長や利点を紹介する予定です。来場を希望する方は、公式サイトでの事前登録が必要です。登録は簡単で、訪問者は公式サイトからチケットを取得できます。

SEMICON Europa 2026の詳細

- 開催日: 2026年11月10日（火）〜13日（金）
- 開催時間: 9:00〜18:00（最終日は15:00まで）
- 開催場所: Messe München, ミュンヘン, ドイツ
- 出展ブース番号: B0 424
- 公式サイト: SEMICON Europa

ClassOne Equipment, Inc.について

ClassOne Equipment, Inc.はアメリカ・ジョージア州アトランタに本社を置き、タカノのウェーハ検査装置の欧米独占代理店として、現地での販売、据付、保守サービス、部品供給までを一貫してサポートしています。新しい装置だけでなく、再生装置や交換部品の提供も行い、業界内でも信頼される存在です。