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日立ハイテクの新たな挑戦

株式会社日立ハイテクは、サブナノレベルの物質構造を観察するための新型超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡「SU9600」を発表しました。この新製品は、従来機種の強みを受け継ぎながら、効率化と自動化機能を強化したことで、データ取得のスループット向上を実現しています。

AI需要に応える観察技術

近年、AI技術の発展に伴い、半導体や高機能材料の開発においては、データ解析のニーズが急増しています。「SU9600」は、こうした要求にしっかりと応えるべく、高精度かつ高効率な観察を可能にしています。これにより、次世代半導体の研究開発が大幅に加速することが期待されています。

日立グループは、Lumada 3.0を推進し、デジタルサービスを顧客に提供する中で、「SU9600」を重要なデジタライズドアセットとして位置付けています。この顕微鏡は、産業向けHMAXというデジタルサービスの実現を目指し、フロントラインワーカーの革新を支援しています。

開発の背景と新機能

SEMは、半導体デバイスや高機能材料の研究開発において必須の装置です。この技術は、故障解析やプロセス管理にも用いられ、特に微細構造を高精度で観察する必要があります。「SU9600」の開発には、このようなニーズを反映させ、高分解能FE-SEMの特徴を持たせています。

「SU9600」の特長

1. 高分解能と高精度
「SU9600」は、日立独自のコールド電子銃を搭載しており、安定した電子ビームを発生させることが可能。これにより、即座に観察を開始でき、明るく高品質な画像を長時間取得し続けられます。加えて、二次電子分解能は0.4nm（加速電圧：30kV）と、従来の機種をしっかりと超えています。

2. 効率性と高解像度の両立
新たに搭載された「カスタムレデューススキャン機能」は、ユーザーが観察したい特定の視野範囲のみを選択できる機能です。さらに最大40kピクセルの解像度を持つ「高精細キャプチャー機能」を組み合わせることで、効率的に高精度なデータ取得が可能になっています。

3. 自動化機能による省力化
大量のデータを処理するための負担を軽減する『EM Flow Creator』を搭載し、観察レシピを作成することで、自動観察を実行できます。これにより、従来手動で行っていた手間を大幅に削減することができます。

最先端の技術を提供し続ける日立ハイテク

日立ハイテクは、持続可能な社会の実現に向けた取り組みとして、幅広い分野で製品やサービスを提供しています。ヘルスケアから環境、産業インフラに至るまで、日立は科学と産業の発展を支援し続けています。「SU9600」は、その一環として、産業界の最前線での課題解決に寄与することを目指しています。

詳しい情報は日立ハイテクの公式Webサイトをご覧ください。

関連リンク

サードペディア百科事典: 日立ハイテク 電子顕微鏡 SU9600

Wiki3: 日立ハイテク 電子顕微鏡 SU9600