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半導体製造の新しい選択肢、VG-500Sの登場

株式会社堀場エステック（京都市南区上鳥羽鉾立町11-5）が、キャパシタンスマノメーター「VG-500S」を12月17日に発売します。この製品は、半導体デバイスの製造プロセスにおける圧力測定に特化した新型真空計で、その特徴と優位性について詳しく掘り下げます。

背景と市場のニーズ

近年の半導体デバイス市場は、技術の進展に伴い、微細化や三次元構造化が進んでいます。これにより、製造プロセスの複雑さが増しています。特に、成膜やエッチング工程では、チャンバー内におけるガス供給の正確な制御が必要不可欠です。高品質な半導体を持続的に供給するためには、圧力測定と真空状態の確保が重要な要素です。これに応えるべく、新型の「VG-500S」が開発されたのです。

VG-500Sの特長

1. 高温プロセスでの安定した性能

「VG-500S」は、プロセスに応じてセンサー部の温度設定が可能で、100～200℃の高温環境でも安定した圧力測定を実現しています。特に、気化したガスが液体に戻らないよう温度を維持することで、結露や熱分解のリスクを低減。従来のモデルに比べて応答時間も約4倍に短縮されており、これは半導体製造における精密なプロセス管理にとって非常に重要です。

2. 高いセンサー精度と応答速度

VG-500Sには独自アルゴリズムが組み込まれており、これにより測定値反映までの時間が短縮され、高速応答が可能になります。加えて、ステンレスのダイアフラムを使用し、高精度な測定を実現。この両者の組み合わせにより、半導体製造現場でのプロセスの安定稼働を強力にサポートします。

3. グローバルな販売体制の確立

堀場エステックは2015年に発売されたキャパシタンスマノメーター「VG-200」を皮切りに、国内外での展開を行ってきました。「VG-500S」のリリースにより、従来のVGシリーズの精度と安定性を引き継ぎつつ、新たな高温プロセスでのニーズに応えられるようラインアップを拡充。これにより、グローバル市場でも競争力を強化しています。

出展予定

「VG-500S」は、2025年12月17日から19日まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」にて展示予定です。この場で実際の性能に触れる機会が提供されることで、来場者は実用性を実感できるでしょう。

まとめ

「VG-500S」は、半導体製造プロセスのニーズに応えるために設計された高精度なキャパシタンスマノメーターです。製品の発売によって、業界全体のプロセス管理が進化し、高品質な半導体の生産がさらに加速することでしょう。堀場エステックは、今後も多様な製品ラインアップを通じて、半導体市場の高度な要求に応えていく所存です。

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