ジェイテクトサーモシステム、SEMICON Taiwan 2025で最先端技術を披露

株式会社ジェイテクトサーモシステム、SEMICON Taiwan 2025に出展

株式会社ジェイテクト（本社：愛知県刈谷市）に属するグループ会社、株式会社ジェイテクトサーモシステム（本社：奈良県天理市、代表取締役社長：大友直之）が、2025年9月10日から12日まで台湾で開催される、SEMIが主催する世界最大級の半導体製造関連機器展「SEMICON Taiwan 2025」に出展します。

会社の背景とビジョン

ジェイテクトは、「技術をつなぎ、地球と働く全ての人を笑顔にする」というミッションに基づき、2030年に向けた目標として「モノづくりとモノづくり設備でモビリティ社会の未来を創るソリューションプロバイダー」を掲げています。このビジョンを実現するため、ジェイテクトはコアコンピタンスプラットフォーム（以下「ココプラ」）の活用により、社内外の技術や知見を融合させ、より良い解決策を提供する「ソリューション共創センター（ソリセン）」を2025年1月に設立しました。

これにより、社内の価値観「Yes for All, by All!」を基に、様々な移動体験の価値を高めるための革新を進めています。

出展概要

同社がSEMICON Taiwan 2025に出展するテーマは「最先端の熱処理技術でお客様の困り事を解決」です。このテーマの下、AIやデータセンターの高性能化に必須となる半導体パッケージや、面発光レーザー（VCSEL）、静電チャックなどに関する熱処理装置を紹介する予定です。

主な出展製品

1. 先端半導体パッケージ用熱処理装置
AIやデータセンター向けに設計されたクリーンオーブンで、様々なサイズの大型基板に対応。特に、Si・ガラスインターポーザやRDLの熱処理、はんだバンプのリフロー、チップモールド後の焼成が可能です。温度や雰囲気の制御技術を駆使し、先端パッケージへの熱処理を支えます。

2. 面発光レーザー（VCSEL）用縦型炉 VF-3000B
この装置は、レーザーの活性層近くのAlAs層を水蒸気酸化することに特化しており、業界トップの成膜性能を誇ります。抜群の温度制御と再現性を実現し、酸化均一性も優れています。

3. 静電チャック脱脂用過熱水蒸気対応熱処理装置 AllFit
セラミックスの脱脂処理に特化した装置で、過熱水蒸気を用いることにより処理時間を最大70%短縮。また、処理品への衝撃や割れのリスクも低減します。