新たな半導体向け薬液濃度モニター「CS-900F」が登場

株式会社堀場アドバンスドテクノが2026年3月26日に、光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を発表しました。この新製品は、洗浄やエッチングといった半導体製造プロセスで用いられる薬液の濃度を非接触で測定できるのが特長です。

進化する「CS」シリーズ

「CS」シリーズは、1995年の発売以来、半導体業界のニーズに合わせて進化を遂げてきました。最新の「CS-900F」は、薬液漏れやコンタミネーションのリスクを低減し、より安全性の高い測定が可能となります。

この製品の導入により、お客様の装置内に設置するセルユニットの体積を従来の約60％削減。これは、光ファイバーケーブルの採用と分光器のメインユニットへの移設によって実現されました。その結果、装置のサイズが小型化され、フットプリントも減少しました。

安定性と汎用性の向上

また、「CS-900F」には内部リファレンス機構が搭載されており、外乱影響を抑えつつ高精度な測定を実現しています。さらに、対応可能な薬液の種類も拡張され、最高80℃の高温薬液を含む多様な薬液を測定できるようになっています。

特に、標準的なSC-1（アンモニア過酸化水素水溶液）から、硝酸、リン酸、酢酸の混合液などの危険な薬液まで、前処理なしで高温薬液を直接測定できる点が大きな利点です。これにより、安全な作業環境が実現されています。

開発の背景

半導体製造において、薬液処理の均質性は歩留まりを左右するため、正確な薬液管理が不可欠です。そのため、2019年に非接触型の「CS-900」を発売し、その後継機となる「CS-900F」は、半導体業界で共通して求められるフットプリントの低減を目指しています。30年の歴史を持つ「CS」シリーズは、進化を続けながら市場のニーズに応えています。

このように、薬液濃度モニター「CS-900F」は、非接触測定の精度向上、安全性の強化、さらには装置の小型化を同時に実現しています。今後の半導体製造プロセスにおける重要な役割を担うことでしょう。堀場アドバンスドテクノは、技術革新を通じて、より良い製品の提供を続けていくことを誓っています。