リガクの革新技術が地方発明表彰で特別賞を2つ受賞

リガクの革新技術が地方発明表彰で特別賞を受賞

最近、リガク・ホールディングス株式会社が創造した2つの特許技術が、令和5年度の地方発明表彰にて特別賞を受賞したことが発表されました。今回の受賞は、リガクが提供する高精度のX線分析技術が主な要因です。

受賞した技術の一つ、「高精度薄膜（半導体）構造解析X線分析方法」は、半導体製造において重要な膜構造の解析に寄与しています。この技術では、X線を使用して膜の厚さや密度、界面の粗さといった特性を、高精度かつ迅速に測定することが可能です。革新的なこの方法は、製造過程の品質管理を改善し、生産性の向上を実現します。その結果、ウエハの廃棄を防ぎ、環境にも優しい検査を実施できます。この技術は「MFM310」というモニタリング装置に組み込まれており、ナノレベルのデバイス研究や生産管理に貢献しています。

受賞に際しての名誉は、関東地方発明表彰特別賞「関東経済産業局長賞」であり、発明者は表和彦氏、実施功績賞は川上潤氏に送られました。具体的な技術の詳細については、こちらを参照してください。

次に、もう一つの受賞技術は「蛍光X線分析用点滴乾燥試料保持具」です。この技術は、微量の有害元素をより高感度で検出できるように進化しています。従来の手法と比較して、液体試料からの元素検出下限が一桁改善され、環境分析における低濃度の有害元素を効率的に測定できるようになりました。この検出方法により、分析過程で発生する廃液を削減し、安全性を確保することが可能になりました。この技術は、環境分析だけでなく、微量元素の品質管理全般に活用されています。

「蛍光X線分析用点滴乾燥試料保持具」は、近畿地方発明表彰特別賞「中小企業庁長官賞」を受賞し、発明者は森山孝男氏、実施功績賞は川上潤氏に贈られました。詳細情報は、こちらで確認できます。

リガクグループの企業理念と展望

リガクグループは、X線分析装置や熱分析機器、非破壊検査機器において、世界的なソリューションプロバイダーとして活躍しています。1951年に設立された同社は、70年以上にわたり「科学技術の進歩を通じて人類社会に貢献する」という理念の元、約1,800名の従業員と共に事業を興し続けています。

今後もリガクは、技術革新を通じた社会貢献を目指し、さらに新しい挑戦を続けていくことでしょう。リガクの詳しい活動内容は、公式サイトをご覧ください。リガク公式ウェブサイト