革新的な耐プラズマ性評価で新素材の未来を切り開く

プラズマ耐性評価の最前線

川崎市に位置する株式会社協同インターナショナルは、新素材のプラズマ耐性評価に特化したサービスを提供しています。プラズマ処理は多様なガス環境を構築でき、新しい材料の評価を可能にします。特に、耐性評価に関するデータ取得が重要な役割を果たすため、サンプル作製の専門知識も欠かせません。

評価方法とプロセス

この評価プロセスでは、使用するガスの種類が重要です。SF6やCHF3、CF4、C4F8、Ar、O2、Cl2など、さまざまなガスを利用し、素材のエッチングレートに影響を与えます。顧客のニーズに基づいて、最も適したガスと条件を提案し、必要に応じて立ち会いで作業を行うことも可能です。

評価の流れは以下の通りです。まず、評価する素材の一部にマスキングを施し、プラズマに直接曝されないようにします。次に、最適なマスク方法に基づき、試料片を投入。エッチングが終わると、マスクを取り外し、触針式段差計でエッチングされた部分の量を測定します。必要に応じて、処理前後のパーティクル状態を評価し、発塵性についてのデータ収集も可能です。

装置の特徴と仕様

本サービスでは、CCP-RIE（平衡平板型）とICP-RIE（独立バイアス型）という2つのドライエッチング装置を使用しています。これにより、複雑なエッチング分布を最小限に抑えることができます。特に、Φ220mmのステージにおいて、基板を環状に配置することで品質を向上させる工夫がされています。また、ステージは20℃に固定された冷却機構が備わっており、温度管理を徹底しています。

このように、協同インターナショナルは、最新の技術を駆使しており、プラズマ耐性評価の分野で革新を続けています。顧客からのニーズに応えるため、常に進化し続ける姿勢が、業界内での高い評価を得ている理由です。

会社の理念とビジョン

株式会社協同インターナショナルは、「今まで無かったモノ」「真似されないモノ」を提供することで顧客に新しい価値を届けることを理念としています。1970年に設立されて以来、業種や国境を越えた取り組みを行い、社会貢献を目指しています。特に電子部門における評価技術の向上は信頼性を高め、顧客満足を得るための新たな挑戦と言えるでしょう。