水素ガス発生装置HGU-36ENが2025年4月から受注開始

水素ガス発生装置「HGU-36EN」の登場

マクセル株式会社が新たに開発した水素ガス発生装置「HGU-36EN」が、2025年4月初旬から受注を開始します。この装置は半導体製造における国际的な業界基準であるSEMI規格に準拠し、またEUの環境保護基準であるCEマークを取得しています。これにより、製造工程での安全性や環境配慮が一層強化されます。

半導体素材の成長を支える技術

近年、半導体市場は自動車や通信、医療機器といった分野の進化により急速に成長しています。特に、人工知能（AI）の導入が進む中で、半導体の需要は高まり続ける見込みです。一方で、製造過程では感電や火災などのリスクが伴うため、設備全体の電気的な安全が重要です。水素ガス発生装置「HGU-36EN」は、このような安全性への対応が求められています。

環境に配慮した設計

「HGU-36EN」は、欧州RoHS指令に適合した環境に優しい商品でもあります。7つのアラーム機能を搭載しており、安心して運用できる設計です。具体的には、超純水に水素を溶かした水素水が、シリコンウェハーや液晶基板、フォトマスク基板の洗浄に使用されます。この洗浄方法は、従来の薬品を使った手法と比べて、コスト削減だけでなく環境負荷の軽減にも寄与します。

さらなる技術革新へ

マクセルは今後も様々な用途に応じた水素ガス発生装置の開発に取り組んでいく方針です。これにより、市場のニーズに応え、持続可能な未来へと貢献することを目指しています。

水素ガス発生装置の特長

- SEMI規格に準拠しCEマークを表示

この装置は国際的な安全基準に準拠しているため、安心して導入できます。

- 環境配慮商品

EPA規制に適合し、持続可能な製品づくりを推進しています。

- 多機能アラームで安全性確保

事故を未然に防ぐための多様な安全機能を搭載しています。

水素ガス発生装置は、1989年から販売を開始し、35年以上の実績があります。固体高分子電解質形水電解方式が用いられており、スイッチを押すだけで99.99%以上の純度を持つ水素ガスを生成します。加えて、安全設計によりユーザーの安心を最優先しています。