環境に優しい半導体技術で真空紫外光源の新時代が到来
新たな水銀フリー真空紫外光源技術の登場
工学院大学の尾沼猛儀教授が率いる研究チームが、環境に優しい半導体ベースの真空紫外光源技術を開発しました。この技術は、185nmから200nmの波長に対応した新しい光源の実現を目指しており、2026年7月9日に開催されるJST新技術説明会にてその成果が公開される予定です。
水銀フリーの選択肢
水銀を使用しないこの光源技術は、特に低圧水銀灯の185nmの輝線を代替することに重点を置いています。水銀に関する水俣条約に基づき、低圧水銀灯の代替が求められている中、この新技術は重要な解決策となります。
技術の詳細
尾沼教授らの研究では、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛半導体を利用した光源が開発されました。これにより、185〜200nm域での波長選択が可能な水銀フリー光源の実現を目指しています。この技術の背景には、ミスト化学気相堆積法が用いられており、従来のエキシマランプやレーザと同様に微細加工に使われる可能性があります。
様々な分野への応用
この技術の実用化が進むと、医療や工場、公共施設における殺菌や消毒、さらには高度な浄水処理システムへの応用が期待されます。また、半導体製造での微細加工や新材料成膜プロセスへの展開も視野に入れています。
医療現場での衛生管理や環境負荷の低減を図る新たなアプローチとして、本技術の展望は大変明るいと言えます。
発光効率の向上を見越して
将来的には、発光効率の向上が見込まれており、この新技術がカーボンニュートラルへの貢献にもつながることが期待されています。環境意識の高まりの中で、このような技術の発展は重要な意義を持つことでしょう。
忘れられないマイルストーン
2026年のJST新技術説明会では、この革新的な技術がさらに深く紹介され、産業界への波及効果が期待されます。参加は無料で事前申込が必要なため、関心のある方はぜひ例のリンクから申し込んでください。
環境に配慮した新しい技術が次々と生まれる中、この水銀フリーの光源技術は、その一翼を担うものとなるでしょう。今後の動向から目が離せません。
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