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オキサイド、半導体検査用DUVレーザの新モデルを発表

株式会社オキサイドは、2026年から受注を開始する半導体検査向けDUVレーザシリーズの新モデルとして、266nm高出力（標準8W、最大12W）モデルと、全く新たに開発した波長193nmレーザを発表しました。この新たなレーザは、半導体デバイスの微細化に対する高感度かつ効率的な検査のニーズに応えるものです。

266nm高出力モデルの概要

新しい266nm高出力モデルは、従来の3W出力から急激に引き上げ、標準で8W、最大12Wに達しました。この進化により、微細な欠陥を持つ半導体ウエハの検出能力が向上し、全体的な検査時間の短縮を実現します。

特長

• - 出力の向上: 標準8W、最大12WのDUV出力により、検査の感度とスループットが格段に向上しました。
• - 省スペース設計: 従来と同じサイズの筐体を維持しているため、既存の検査装置への導入が容易で、場所を取らない設計になっています。

新波長193nmレーザの特長

オキサイドが新たに開発した193nmレーザは、従来の医療分野や光学素子検査用光源としての用途に加え、ArFリソグラフィ用のフォトマスク検査にも対応できる能力を持っています。特に、この全固体深紫外ピコ秒レーザは、50MHzの繰り返し周波数と平均出力0.2W超を実現しています。これにより、広範な応用範囲が期待できます。

特徴

• - 高ビーム品質: 高品質CLBO結晶の採用により、半導体製造現場で要求される安定した稼働と長期間の使用が可能です。
• - 用途の拡大: 半導体ウエハ検査だけでなく、医療や光学素子受評価にも対応し、多様なニーズに応えます。

展示会のご案内

新モデルの高出力化に関する成果は、光工学およびレーザ技術において世界最大の展示会「PhotonicsWest 2026」にて発表される予定です。下記の情報をもとにぜひご注目ください。

• - イベント名: PhotonicsWest 2026
• - 会期: 2026年1月20日〜2026年1月22日
• - 会場: Moscone Center, アメリカ サンフランシスコ

「QCW Kalama」シリーズは、半導体ウエハの検査精度を向上させるための重要な一歩となるでしょう。今後の市場動向に注目です。なお、製品に関する詳しい情報は、オキサイドレーザ事業部までお問い合わせください。

お問い合わせ先

株式会社オキサイドレーザ事業部
メール: [email protected]
電話: 045-444-9511

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