ダルトンが『SEMICON Japan 2025』に出展、先進的な半導体製造技術を展示

ダルトンが『SEMICON Japan 2025』に出展

株式会社ダルトンは、半導体関連の国際展示会『SEMICON Japan 2025』に参加します。この展示会は2025年12月17日（水）から19日（金）にかけて、東京ビッグサイトにて開催され、半導体製造技術や装置が集結する国内最大級のイベントです。ダルトンは、蒸気2流体洗浄装置やオゾン水生成装置といった最新技術を展示し、業界関係者にその特長を直接体験してもらえる機会を提供します。

ダルトンの歴史と事業内容

ダルトンは1990年から半導体製造装置事業を開始しました。この事業の出発点は、従来のドラフトチャンバー製造技術をウエハーの研究に応用しようとするアイデアです。以来、ウエハーや治具、用途に応じた多彩な製造工程に対応しており、剥離、洗浄、乾燥、メッキ、溶剤再生などの多岐にわたるプロセスを網羅しています。また、研究開発向けから量産機まで、多様なニーズに柔軟に応じた製品を提供しています。

今回の展示会では、環境負荷の低減をテーマにした製品が中心となります。洗浄プロセスにおいて薬液を使わず、蒸気やオゾン水を使用した装置を多数紹介します。これは、持続可能な製造プロセスを可能にし、今後の半導体産業における課題解決にも貢献します。

主な展示製品

蒸気2流体洗浄装置

この装置は、薬液の代わりに水蒸気と水を超音速で噴射して異物を除去します。水滴が対象物に衝突することでキャビテーションが生成され、これにより強力な衝撃波が生じ、異物が効果的に除去されます。主に異物除去や研磨後の洗浄、メタルリフトオフ、レジスト剥離に使用されます。出展社セミナーでは、この洗浄技術について詳しく解説します。