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新たなX線計測技術を切り拓く共同研究所の設立

国立大学法人東北大学と株式会社リガクが新たな共同プロジェクト「リガク・東北大学X線計測共創研究所Beyond The Limits」を設立しました。この研究所は、2026年8月1日に運営を開始し、設立期間は3年間を予定していますが、研究成果次第では延長を検討する方針です。

1. 設立の背景

半導体や材料技術は近年、その小型化や多層化が進んでおり、製造プロセスはより複雑化しています。この変化に対応するためには、非破壊かつ高精度な材料評価を支えるX線計測技術が欠かせません。しかし、現在の技術では微細構造や深さ方向の詳細な解析が難しいという課題が存在します。これらの課題を克服し、高度な計測手法を確立するために、リガクは東北大学と連携し、共同研究を推進することとなりました。

2. 研究所の主な活動内容

新たに設立された共創研究所では、以下の目的を持ってさまざまな活動が進められます。

• - X線計測技術の高度化

「NanoTerasu」を活用し、微細構造に対する新たな計測技術の開発を行います。また、東北大学の情報解析技術とリガクの計測ノウハウを結集し、データ解析手法の向上にも取り組むことが予定されています。

• - 共創研究の推進

X線計測が必要とされる様々な分野を探索し、従来の技術では実現不可能だった計測課題への挑戦も行います。

• - 次世代研究者と技術者の養成

X線計測技術の基礎から新材料への応用まで体系的に習得する機会を提供することを目指しています。これにより、学術界と産業界の双方で活躍できる人材の育成を図ります。また、特に優れた学生に対する「リガク奨学制度」も設け、奨学金を支給し、その研究成果を実用化に結びつけることを狙います。

3. 今後の展開

共同研究所の設立から3年間では、特に半導体分野に焦点を当てた研究の実用化が求められます。初期の段階では、軟X線計測に重きを置く一方で、データ解析技術の向上を図る施策が優先されます。その後、これらの成果を基に、電子材料や機能性材料など、さまざまな分野への適用範囲の拡大が見込まれています。

さらに、この研究所から育成された研究者や技術者が、産業界や学術界で活躍することで、X線計測技術が持つ知識の循環が生まれ、持続的なイノベーションが促進されることが期待されています。

4. 研究所の約束と展望

リガク株式会社のX線研究所所長、表和彦氏は、次のように語っています。「新たな計測対象に挑戦し続けることで、リガクは成長してきました。X線技術にはまだ多くの可能性が秘められています。本共創研究所を通じて、次の世代の研究者と共に未知の領域に踏み込むことを目指します。」
東北大学の国際放射光イノベーション・スマート研究センターセンター長、千葉大地氏も「新しい問いや技術が生まれる場として、この共同研究所を活用し、次世代の研究を推進していきたい」とコメントしています。

本共創研究所は、X線計測技術の証明された基盤を基に、新たな未来を切り拓く場所として大きな期待が寄せられています。

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